原子力顯微鏡可進(jìn)行高精度的粗糙度、臺(tái)階高度及微納米級(jí)別三維輪廓等測(cè)量，同時(shí)可以測(cè)量相位、電場(chǎng)、磁場(chǎng)、導(dǎo)電力等其他各種高級(jí)物理量。

橢偏儀：超薄膜的實(shí)時(shí)可視化分析測(cè)試，實(shí)時(shí)觀察樣品微觀尺度上的結(jié)構(gòu)。可以測(cè)量諸如薄膜厚度、折射率和吸收系數(shù)等參數(shù)。也可以對(duì)薄膜進(jìn)行區(qū)域化(選區(qū))分析，獲得所選區(qū)域的成像分析圖。

白光干涉垂直掃描和移相干涉測(cè)量法，0.1nm臺(tái)階，采用TotalFocus 技術(shù)，全視場(chǎng)真彩色圖像。

多模組三維光學(xué)輪廓儀標(biāo)配ZDot白光共聚焦逐層成像，可選裝多模式光學(xué)系統(tǒng)。

探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）源自AFM的光學(xué)杠桿技術(shù)，精確測(cè)量臺(tái)階高度及表面輪廓。

探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）高精度、低噪聲、高穩(wěn)定性和大掃描量程，這些技術(shù)特點(diǎn)為P系列臺(tái)階儀在晶圓測(cè)試領(lǐng)域的廣泛使用奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，也為其拓展了在其他材料測(cè)試方面的應(yīng)用。