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橢偏儀：超薄膜的實(shí)時(shí)可視化分析測試，實(shí)時(shí)觀察樣品微觀尺度上的結(jié)構(gòu)。可以測量諸如薄膜厚度、折射率和吸收系數(shù)等參數(shù)。也可以對(duì)薄膜進(jìn)行區(qū)域化(選區(qū))分析，獲得所選區(qū)域的成像分析圖。
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